小抽速愛德華螺桿泵真空泵IX80/160，螺桿真空泵IX系列產(chǎn)品是抽氣量很小的螺桿系列產(chǎn)品，一般是在半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室使，，真空泵配件，和真空泵維修，Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。